RF
The Apex platform delivers superb performance in plasma-based thin film processes for semiconductor, flat panel display, or data storage manufacturing.
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Apex® RF 전원-전달 시스템

다용도 Apex® RF 발생기 및 전원 전달 시스템 제품군은 향상된 제품과 공정 신뢰성을 제공하는 고도의 RF-변환 기술을 활용하고 챔버 설치에 적합한 모듈 설계로 제공됩니다. Apex 플랫폼은 반도체, 평판 디스플레이 또는 데이터 스토리지 생산용 플라즈마 기반 박막 공정에서 탁월한 성능을 제공합니다.

혜택 특징
  • 높은 전력 밀도
  • 향상된 공정 유연성
  • 향상된 수율
  • 저렴한 CoO
  • 단순화된 공정 툴 통합
  • 유연한 통신
  • 합리화된 설계
  • 온-보드 챔버 마운트, 온-툴 프레임 마운트, 랙 마운트, 상자형 옵션
  • 광대역 제어 루프, 옵션의 고반복도 펄스
  • 업계 선두 아크 관리
  • 규제 준수


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추가 정보

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