DC
Photo of Ascent DC power supply with Arc Management(TM) technology
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Arc Management System™ 기술을 탑재한 Ascent® DC 전력 공급장치

아크에 민감한 공정을 관리하기 위해 특별 설계된 견고한 Ascent® DC 전력 공급장치는 고품질, 재현성이 필요로한 박막을 위해 안정적인 전력을 공급합니다. 철저한 기술 요건 충족 프로그램으로 최대 신뢰성을 보장합니다. 효과적인 Arc Management System™ 기능이 아크를 소멸시켜 불필요한 박막 손상 또는 공정 중단을 방지하는 한편, Set Point Compensation™ 기술은 상당한 아크 발생 여건에서도 설정점과 스퍼터 속도 간의 균형을 잡아줍니다. 셋업과 동작이 용이한 Ascent 전력 공급장치는 여러 사용자 인터페이스와 Virtual Front Panel 소프트웨어를 구비하고 있습니다. 여러 대를 마스터/슬레이브로 가동하거나 Arc-Sync™ 기술을 이용하여 다수의 인접 캐소드에서 전력 공급장치를 조율할 수 있습니다. 어떠한 설비 구성에 관계없이 Ascent 전력 공급장치로 안정되고 반복 가능한 공정을 보장 받을 수 있습니다.


혜택 특징
  • 최대 라인 신뢰성 보장
  • 박막 품질, 생산성, 수율 개선을 위해 효과적으로 아크 관리
  • 스퍼터링 공정에서 전력 공급장치 통합의 단순화
    • 태양광
    • FPD
    • 산업 코팅
    • 웹 코팅
  • 30, 40, 60 kW 모델
  • 특허 출원 및 특허 출원 중인 Arc Management™ 기술
  • Set Point Compensation™ 기술
  • VFP 소프트웨어
  • 원격 전면 패널 및 패시브 전면 패널
  • RS-232/485, 이더넷, Profibus, 아날로그 통신 인터페이스
  • 최고 12대의 마스터/슬레이브 기능
  • 24 x 7 x 365 기술지원
  • RoHS 준수

추가 정보

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