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Ascent ® DMS 부속제품

Ascent ® DMS 부속제품

Ascent DMS 시리즈는 듀얼 마그네트론 스퍼터링을 위한 탁월한 전력 전달의 용이성과제어기능을 제공하므로 필름 특성을 정확하게 조절할 수 있도록 하였습니다. 주파수, 조절 모드(regulation mode) 및 Duty cycle을 선택할 수 있으며 낮은 축적 에너지와 단순화된 모듈식시스템 구성을 지닌 Ascent DMS 부속제품은 진정한 차세대 기술로 분류됩니다. 경제적이고확장 가능하며 다재다능하므로, 복잡성을 최소화하고 품질을 향상시키며 처리량을 증대하여공정 혁신을 개선합니다.

Arc Management System™ 기술을 탑재한 Ascent® DC 전력 공급장치

Benefits Features
  • 증착막의 가치 증가: 재현가능하고맞춤가능한 증착막
  • 소유 비용 감소 및 생산성 향상
  • 선행 투자 비용 감소
  • 아크 손상은 감소한 반면 더 높아진 전력 수준
  • 쉬운 확장성, 기능추가 및 지원
  • 확장 가능한 모듈식(30, 40 및 60kW 장비로 180kW까지 구성 가능)
  • 선택 가능한 주파수(500Hz ~ 50kHz)
  • 전력, 전류 또는 전압 조절
  • 조정 가능한 Duty Cycle--각 마그네트론에 대해 독립적인 전력비조절
  • 단극 및 양극 작동
  • 현존하는 산업용 듀얼-마그네트론스퍼터링 공급 제품 중에 가장 낮은 아크 에너지
  • CE X(위상 동기화)