저/중주파
Photo of Crystal high power system
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Crystal®

Advanced Energy (AE) Crystal® 전원 공급장치는 건축, 자동차, 비반사, 거울과 같은 대형 유리 코팅 어플리케이션의 수율을 높이고 불량품을 줄이는데 적합합니다. 180kW 전원을 제공하는 이 전원 공급장치는 이중 마그네트론 스퍼터링 어플리케이션에 광범위한 저주파 사인파 공정 전원을 제공합니다. AE의 Crystal 전원 공급장치는 플라즈마 환경에 사용하기 위해 토폴로지를 특별히 고안한 유일한 아크 고전력 공급장치입니다.


혜택 특징
  • 향상된 유연성
  • 높은 수율
  • 감축된 공정 다운타임
  • 향상된 처리량
  • 광범위한 저주파 사인파 공정 전원
  • 고전력 공급 - 180kW 전원
  • 플라즈마 환경에 맞게 고안

 

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추가 정보

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