DC
Photo of DC Pulsing Product Suite
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DC 펄스 제품군

AE의 펄스 제품들은 까다롭고 다양한 공정 요건을 모두 충족시킬 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 유연한 DC 펄스 액세서리 컬렉션은 10-200kW 전원과 2 - 100kHz 고정/가변 주파수를 제공합니다. 각 제품은 반응성, 전도성 DC 스퍼터링에 입증된 혜택을 제공하는 기능들로 설계되었습니다.


혜택 특징
  • 다양한 기능
  • 유연한 DC 펄스 액세서리 컬렉션
  • 고전력에서의 작동을 허용하여 처리량을 증가시킵니다.
  • 타겟 오염을 줄여줍니다.
  • 10 - 200kW의 전원을 제공합니다.
  • 2 - 100kHz 고정/가변 주파수를 제공합니다.
  • 탁월한 아크 제어 – 많은 경우 아크를 완전히 제거할 수 있습니다.
  • 고이온 에너지
  • 고전력 작동
  • 낮은 기판 온도
  • 낮은 타겟 온도
  • 공정 유연성 및 관용도
  • 용이한 시스템 통합
  • 이중 음극 기능(Astral® 제품들)


관련자료 다운받기

DC Pulsing Products: Proven Benefits for Reactive & Conductive Sputtering brochure
Increasing Production Output with Pulsed-DC Accessories (2006) white paper
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
The Evolution of Power Delivery in Reactive Silicon Sputtering (1999) white paper
Effects of the Anode Configuration on Substrate Heating in Dual-Magnetron Sputtering (1999) white paper
Power Supplies for Pulsed Plasma Technologies: State-of-the-Art Outlook (1999) white paper
Enhanced Reactively Sputtered Al2O3 Deposition by Addition of Activated Reactive Oxygen (1999) white paper
Advances in Arc-Handling in Reactive and Other Difficult Processes (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Arcing Problems Encountered During Sputter Deposition of Aluminum (2000) white paper
Pulsed-DC Reactive Sputtering of Dielectrics: Pulsing Parameter Effects, April 2000 magazine reprint
AE Global Services brochure

 

추가 정보

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