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DC
Photo of E'Wave DC power system
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E'Wave® 양극성 펄스-DC 시리즈

Advanced Energy E'Wave® 양극성 펄스 DC 전원 공급장치는 표면 균질성을 높이고 생산 환경에서의 웨이퍼 전기 도금, 구리 공정 개발 등과 같이 DDPF(dual-damascene process flow)의 구리 도금 단계에서의 첨가제 소비를 줄여줍니다. E'Wave 전원 공급장치는 최대 3개의 채널을 제공하고, 각 채널은 양극 전원에 의해 독립적으로 작동하며 최고 15개의 전류 제어 또는 전압 제어 파형을 생성, 저장, 구동할 수 있습니다.


혜택 특징
  • 탁월한 갭 충전
  • 탁월한 표면 균일성
  • 첨가제 소비 감소
  • 강력한 제어 및 모니터링
  • 필요한 클린룸 공간 축소
  • 광범위한 배치 옵션
  • 다용도 파형 구성
  • 최고 3개의 독립적으로 제어되는 채널
  • 양극 펄스 DC 출력, 0 - 5kHz
  • 고전류 공급 능력
  • 4개의 터미널에서의 웨이퍼 전압 제어 및 측정
  • 호스트 포트 인터페이스
  • 컴팩트 패키지


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추가 정보

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