RF
Photo of HFV Variable Frequency Generator RF power system
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HFV® 가변 주파수 (~2MHz) 발생기

200mm, 300mm 웨이퍼 처리, 평판 디스플레이(FPD), DVD 장비의 플라즈마 발생장치로 주로 사용되는 유연한 HFV® 발생기는 IPVD, CVD, 에칭에 공정 일관성을 제공합니다. 이 다용도 전원 발생기의 특징에는 디지털 합성 가변 주파수 출력, 마이크로프로세서 제어, 3, 5, 8kW의 출력 전원 레벨 등이 있습니다. 또한 이는 1.765 - 2.165MHz의 출력 주파수 범위를 제공합니다. 다양한 챔버 구성과 공정 방법을 사용하여 반복적으로 작동할 수 있도록 펌웨어에 상존하는 주파수 동조 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다.


혜택 특징
  • 실행 시 정확성을 향상시킵니다.
  • 다용도로 사용할 수 있습니다.
  • 신뢰성을 높입니다.
  • 공정 유연성을 향상시킵니다.
  • CoO를 줄입니다.
  • 사용자 정의 가능 주파수 동조 매개변수
  • 1.765 - 2.165MHz의 출력 주파수 범위
  • 3, 5, 8kW 출력 전원 레벨
  • 디지털 합성 주파수 출력
  • 마이크로프로세서 제어


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추가 정보

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