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LFGS RF 발생기

LFGS 발생기는 반도체 제작 및 일반 플라즈마 처리를 위한 다용도 RF 전원 공급장치입니다. 이 가변 주파수 발생기는 하프 브리지, 공기 냉각식 개념의 클래스 D 증폭기 및 컴팩트한 19인치 랙 마운트형 디자인 등을 특징으로 합니다. 대표적인 애플리케이션은 스퍼터링, 반작용 이온 에칭, 플라즈마 증착, 중합 및 표면처리를 포함합니다.

혜택 특징
  • 시중 제품 중 가장 낮은 반사 전력을 얻음
  • 공기 냉각 기능
    액티브 프런트 패널
  • 0 - 10kHz 펄스 모드
  • 향상된 작동 메뉴
  • 아날로그 사용자 포트 2개
  • RS-232, 이더넷 및 PROFIBUS

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