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MDX 시리즈 1kW 및1.5kW DC 전원 시스템 사진
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MDX 시리즈1kW 및 1.5kW

MDX 시리즈 DC 전원 공급장치는 정확한 컨트롤, 탁월한 아크 제어, 낮은 아크 에너지로 인해 업계 최고의 제품으로 인정받고 있습니다. 진공 장비에서 지속적으로 사용할 수 있도록 고안된 본 제품은 DC 마그네트론 스퍼터링 드라이브로 주로 사용됩니다. 이는 또한 RF 스퍼터링과 에칭 시스템의 바이어스 용도로 정확한 컨트롤을 제공합니다. 컴팩트한 사이즈로 실험실 시스템에 이상적인 솔루션입니다.
혜택 특징
  • 정확한 컨트롤
  • 수율 향상
  • 타겟 Burn-In 시간 단축
  • 높은 신뢰성
  • 용이한 유지보수 및 교체
  • 낮은 아크 에너지
  • 낮은 리플
  • 아크 억제 시간 조정 가능
  • 높은 효율성
  • 컴팩트한 사이즈
  • 전압, 전류, 전원 조정 모드
  • 프론트 패널, 아날로그 인터페이스 제어
  • 탁월한 제품 보호 기능

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추가 정보

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