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Navigator® 디지털 정합 회로 사진
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Navigator® 디지털 임피던스 정합 회로

View Demo하이테크의 다용도 Navigator® 정합 회로는 광범위한 부하 임피던스 범위(15W -30kW)에 걸쳐 빠르고 정확한  매칭능력을 가지고 있습니다. 마이크로프로세서 제어 스텝 모터 회로와 사용자 선택 가능 디지털 동조 알고리즘을 구현한 Navigator 정합 회로는 기존 아날로그 기반 동조 방식보다 일관성과 정확성이 향상 되었습니다. 이는 반도체, 태양전지, FPD, MEM 제조 공정(에칭, CVD, HDP-CVD, PVD, 챔버 클린 어플리케이션 등)에 공급되는 전원 전달능력을 최적화할 수 있습니다. 선택 항목인 내부 Z’Scan® RF 센서는 공정 전원과 임피던스를 실시간으로 측정, 분석하여 공정 변이를 스캔하고 이를 크게 줄일 수 있게 해줍니다. 또한 선택 항목인 VFP(Virtual Front Panel) 소프트웨어는 개인 컴퓨터를 통해 정합 회로를 모니터하고 제어할 수 있게 해줍니다.


혜택 특징
  • 공정 제어 능력의 강화
  • 반사 전원의 최소화
  • 응답 시간을 단축
  • 향상된 신뢰성
  • 툴 처리량과 제품 수율의 향상
  • 디지털 정합 플랫폼
  • 다중 디지털 동조 알고리즘
  • 실시간 공정 전원, 임피던스 측정 및 분석
  • 통합된 측정
  • 합리화된 설계
  • 엄격한 테스팅


 

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추가 정보

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