Ovation VHF 전원 전달 시스템
Ovation 종합 전원 전달 시스템은 독특한 전원 전달 구조를 통해 까다로운 협선 너비, 유전 에칭 공정 등에 요구되는 보다 신속하고 정교한 공정을 가능하게 해줍니다. 이는 외부 센서 없이 비 50옴 환경에 전원을 정확하게 전달하는 첫 번째 제품으로, 기존 전원 공급장치보다 빠르게 반응합니다. 60-MHz 설계는 플라즈마 시스에 존재할 수 있는 전압을 낮춰 이온 에칭 파손을 최소화하고 필름 품질과 수율을 개선합니다.
| 혜택 |
특징 |
- 공정 창을 확대합니다.
- 공정 능력을 확대합니다.
- 플라즈마 특성을 향상시킵니다.
- 에칭 속도, 선택도, 균일성을 높입니다.
- 소유 비용을 줄입니다.
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- 2760W, 60MHz (고전력이 필요한 경우 공장에 문의)
- 소인 주파수
- 비 50옴 측정력
- 아날로그, RS-232, 이더넷 제어 옵션
- 소형 푸트프린트 – 최고 2.7kW 전원용 1/2 랙 옵션
- 매우 안정되고 믿을 만함
- 전문가 어플리케이션 지원
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