RF
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Paramount RF 전원 전달 시스템

400kHz~60MHz 범위의 디지털 제어식 RF 전원공급장치와 1.5~8kW의 전력으로 주파수 조정, 펄싱, 펄스 동기화 기능 지원. 완전한 디지털 제어 기능 및 플라즈마 변화에 대한 거의 즉각적인 응답성을 갖춘 Paramount 플랫폼 덕분에 사용자는 최첨단 처리 기술을 계속 유지할 수 있습니다.


혜택 특징
  • 우수한 플라즈마 안정성 및 처리 반복성
  • 정밀한 RF 제어
  • 플라즈마 변화에 대한 거의 즉각적인 응답
  • (< 100ms 미만)
  • 고급 제조 기술에 대한 유연성 및 적응성
  • 완전한 디지털 제어
  • 펄싱 및 펄스 동기화
  • 주파수 조정
  • 실시간 전력 및 임피던스 측정
  • 완벽하게 조절되는 출력 전력
  • 폭넓은 작동 주파수 범위(400kHz~60MHz)
  • 폭넓은 출력 전력 범위(5~8000W)
  • 높은 VSWR 기능
  • 아크 관리
  • 위상 동기화(CEX)

관련자료 다운받기

Paramount 시리즈 400kHz, 2MHz, 13MHz, 27MHz, 40MHz, 60MHz     English
Optimising performance by integrating RF power and match technologies, December 2007/January 2008 magazine reprint
Navigator Digital Matching Network brochure 
Paramount/Navigator 전원 전달/정합 솔루션을 사용하여 최적화한 공정 성능    English

추가 정보

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