Paramount RF 전원 전달 시스템
400kHz~60MHz 범위의 디지털 제어식 RF 전원공급장치와 1.5~8kW의 전력으로 주파수 조정, 펄싱, 펄스 동기화 기능 지원. 완전한 디지털 제어 기능 및 플라즈마 변화에 대한 거의 즉각적인 응답성을 갖춘 Paramount 플랫폼 덕분에 사용자는 최첨단 처리 기술을 계속 유지할 수 있습니다.
| 혜택 |
특징 |
- 우수한 플라즈마 안정성 및 처리 반복성
- 정밀한 RF 제어
- 플라즈마 변화에 대한 거의 즉각적인 응답
- (< 100ms 미만)
- 고급 제조 기술에 대한 유연성 및 적응성
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- 완전한 디지털 제어
- 펄싱 및 펄스 동기화
- 주파수 조정
- 실시간 전력 및 임피던스 측정
- 완벽하게 조절되는 출력 전력
- 폭넓은 작동 주파수 범위(400kHz~60MHz)
- 폭넓은 출력 전력 범위(5~8000W)
- 높은 VSWR 기능
- 아크 관리
- 위상 동기화(CEX)
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