DC
Photo of Pinnacle Plus+ DC power system
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Pinnacle® Plus+

Advanced Energy(AE) Pinnacle® Plus+ 전원 공급장치는 반응성 공정에 펄스 DC 솔루션의 모든 장점을 제공하고 사용의 용이함, 비용 절감, 탁월한 유연성의 혜택을 제공합니다. 표준 DC 기술과 공정에서 입증된 펄스 DC 기술을 결합한 Pinnacle Plus+ 전원 공급장치는 고가의 복잡한 AC 전원 솔루션에 비해 높은 증착율, 반복 가능 성능, 탁월한 필름 품질을 제공합니다.

혜택 특징
  • 높은 증착율 및 수율
  • 탁월한 필름 균질성 및 품질
  • 아크로 인한 기판 파손 감소
  • 저렴한 비용
  • 용이한 시스템 통합
  • 탁월한 공정 유연성 및 관용도
  • 반복 가능 성능
  • 완화 곡선의 높은 지점에서의 안정된 작동
  • 높은 처리량
  • 편리한 모니터링 및 제어
  • 탁월한 시스템 유연성
  • 하나의 아담한 패키지
  • 5 - 350kHz의 조정 가능 주파수 범위
  • 최고 45%의 가변 듀티 사이클
  • 광범위한 전압 범위 –단일- 탭의 광범위한 임피던스 범위
  • 고전력 작동
  • 낮은 기판 가열
  • 단일 출력(5kW, 10kW 모델)
  • 다중 챔버 생산을 위한 이중 출력 (5kW 모델)
  • 탁월한 아크 제어
  • 반응성 스퍼터링 폐쇄 루프 제어

 

관련자료 다운받기

Pinnacle® Plus+ Pulsed-DC 전력 공급장치     English
Pinnacle® Plus+ HALO Pulsed-DC Power Supplies
Arc Handling in RF-Superimposed DC Processes (2006) application note
Increasing Production Output with Pulsed-DC Accessories (2006) white paper
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
The Evolution of Power Delivery in Reactive Silicon Sputtering (1999) white paper
Power Supplies for Pulsed Plasma Technologies: State-of-the-Art Outlook (1999) white paper
Advances in Arc-Handling in Reactive and Other Difficult Processes (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Control of the Reactive Sputtering Process Using Two Reactive Gases, May 2003 magazine reprint
Integrated Process Control for Reactive Sputter Deposition of Dielectric Thin Films, May 2003 magazine reprint
Pulsed-DC Reactive Sputtering of Dielectrics: Pulsing Parameter Effects, April 2000 magazine reprint
Optical Emission Studies for the Characterization of Pulsed Magnetron Sputtering Systems, April 2002 magazine reprint
Parameter Optimization in Pulsed DC Reactive Sputter Deposition of Aluminum Oxide, April 2002 magazine reprint
Substrate Response During Dual Bipolar Pulsed Magnetron Sputtering, April 2002 magazine reprint
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
A Novel Frequency-Domain Small-Signal Analysis of Resonant Power Converters, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
DC Sputtering Cuts Deposition Times and Costs, November 2002 magazine reprint
Enhanced Reactively Sputtered Al2O3 Deposition by Addition of Activated Reactive Oxygen, March 2001 magazine reprint
AE Global Services brochure


추가 정보

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