전원 시스템
Advanced Energy는 반도체, 평판 디스플레이, 데이터 스토리지 제품, 태양 전지, 건축용 유리, 기타 첨단 공정 어플리케이션의 제조 공정에 사용되는 전원 제품을 공급하는 선두 글로벌 업체입니다. 제공하는 제품의 특징은 다음과 같습니다.
  • 탁월한 전원 플라즈마 제어
  • 탁월한 DC, RF 아크 처리
  • 최첨단 매칭 네트워크 기술
  • 통합되고 현장 검증된 전원 전달 솔루션
다음 항목에 전원 시스템 기능을 제공하도록 고안되었습니다.
  • RF 클리닝
  • 금속, 유전 에칭
  • 감광 수지 에싱
  • 화학적 증기 증착(CVD)
  • 플라즈마-강화 화학적 증기 증착(PECVD)
  • 물리적 증기 증착(PVD)
  • 스퍼터 증착
또한 DC 스퍼터링(반응, 금속), AC 이중-음극 스퍼터링, 이온 빔 증착/반응성 이온 빔 에칭(RIBE)용 PECVD와 기기, 첨단 플라즈마 측정 어플리케이션을 공급합니다.
전원 공급장치 메트릭스

Power supply selection matrix



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