Advanced Energy는 반도체, 평판 디스플레이, 데이터 스토리지 제품, 태양 전지, 건축용 유리, 기타 첨단 공정 어플리케이션의 제조 공정에 사용되는 전원 제품을 공급하는 선두 글로벌 업체입니다. 제공하는 제품의 특징은 다음과 같습니다.
- 탁월한 전원 플라즈마 제어
- 탁월한 DC, RF 아크 처리
- 최첨단 정합 기술
- 통합되고 현장 검증된 전원 전달 솔루션
다음 항목에 전원 시스템 기능을 제공하도록 고안되었습니다.
- RF 클리닝
- 금속, 유전 에칭
- 감광 수지 에싱
- 화학적 증기 증착(CVD)
- 플라즈마-강화 화학적 증기 증착(PECVD)
- 물리적 증기 증착(PVD)
- 스퍼터 증착
또한 DC 스퍼터링(반응, 금속), AC 이중-음극 스퍼터링, 이온 빔 증착/반응성 이온 빔 에칭(RIBE)용 PECVD와 기기, 첨단 플라즈마 측정 어플리케이션을 공급합니다.
전원 공급장치 메트릭스
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The Art of Choosing the Right Power Supply
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