Quanta®  원격 플라즈마 장치(RPS)

새로운 어플리케이션으로 확장하기 위한 차세대 기술

VHF 에너지와 CCP 아키텍처를 결합한 Quanta® 원격 플라즈마 소스 (RPS)로 기존 RPS나 현세대의 플라즈마 생성 기술로는 불가능했던 정교한 플라즈마 생성과 신 박막공정으로의 확장 가능. 
 
장점 특징
  •  넓은 점화 범위와 작동 범위
  • 다양한 종류의 화학물질 가능
  • 사용자 임의 조합 라디칼 혼합물을 사용자 공정에 전달
  • 다른 플라즈마 소스로 불가능한 새로운 공정 사용 가능
  • 입증된 VHF 동력 전달 기술
  • 실시간 공정 매개변수 보고: 임피던스, 전압, 전력
  • 입증된 챔버 매칭
  • 전체 Al2O3 세라믹 내부 구조
  • 소형화된 소스 본체
  • 주 공정 챔버에 바로 탑재 가능
  • 표준 플랜지를 통한 출력
  • 랙 장착형 VHF 발생장치
  • 통합 고정/선택형 정합 회로
  • 가변 주파수 임피던스 정합
  • 통합 점화 회로
  • 모든 플라즈마 접촉면에 고순도 세라믹
  • 펄스 가능