RF

정합 회로와 통합된 RF 발생기, 전원 전달 시스템은 플라즈마 기반 박막 제조 공정에서 탁월한 성능을 발휘합니다.

Paramount RF 전원 전달 시스템
Apex RF 전원-전달 시스템
HFV 가변 주파수 발생기
CESAR RF 발생기
HILIGHT RF 발생기(13.56MHz, 600W)
Integro RF 발생기
OVATION VHF 전원 전달 시스템
HPG 고출력 RF 전달 시스템
Navigator디지털 정합 회로
Navio Digital Matching Network
RF 측정
RF Cables & Accessories


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