RF
Photo of GenCal RF instrumentation
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GenCal™

GenCal 시스템은 플라즈마 공정 업계에서 흔히 사용되는 별개의 주파수에서 업계 최고의 측정 정확도와 AE의 R&D 수상 경력의 플라즈마 임피던스 센서에 사용되는 동일한 최첨단 하이브리드 전원 센서를 제공합니다. 이 최적화된 기술은 상당한 고조파 컨텐츠와 소음이 섞인 플라즈마 생성 신호가 있는 상태에서 다른 전원 계측기가 제공하지 못하는 수준의 정확도로 측정합니다
혜택 특징
  • 발생기와 튜너의 올바른 작동을 빠르게 확인합니다.
  • 발생기에서의 전원 변동에 관한 경고를 제공합니다.
  • 전원 공급장치로의 입력을 위한 설정 지점을 선택합니다.
  • 디지털 계량기 및 매개변수 LED
  • 표시 선택 스위치
  • 설정 포인트 손잡이

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추가 정보

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