SEKIDENKO 온도 측정
Sekidenko OR 4000T 및 OR4000E 광섬유 온도계 및 배출 측정기 사진
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Sekidenko OR4000T, OR4000E 광센서 온도계 및 방사율 측정기

Advanced Energy의 OR4000T, OR4000E 멀티-채널 광센서 온도계(OFT)는 RTP, HDP-CVD, MOCVD, UV 교정, 기타 다양한 반도체 공정용 무접점 온도 측정에서 업계 최고의 성능을 제공합니다. OR4000T 모델은 멀티 채널 기능을 제공하고 가장 까다로운 분야인 반도체 어플리케이션에서 최고 2kHz의 읽기 속도를 지원합니다. OR4000E 모델은 OR4000T와 같은 고속 성능을 제공할 뿐만 아니라 실시간 방사율 보상을 추가로 제공합니다. 두 모델은 모듈식으로 설계되었기에, 각 공정 어플리케이션의 독특한 요건을 충족시키기 위해 쉽게 변경할 수 있습니다.
 


혜택 특징
  • 온도 측정의 정확성 향상
  • 반복성 강화 및 변이 최소화
  • 생산성, 수율, 처리량 증가
  • 다양한 멀티 챔버와 기판 재료에서 안정성 및 신뢰성 향상
  • 제자리, 무접점 온도 측정
  • 실시간 방사율 측정 및 보상
  • 업계 최고의 온도 및 방사율 읽기 속도
  • 매우 유연한 모듈 기반 플랫폼 아키텍처
  • 완벽한 I/O, 외부 트리거/동기화 제품

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추가 정보

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