SEKIDENKO 온도 측정
Sekidenko OR400T 광섬유 온도계 사진
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Sekidenko OR400T 광센서 온도계

Advanced Energy의 OR400T 광센서 온도계(OFT)는 PECVD, LPCVD, PVD, 금속 에칭 등 여러 대량 생산 반도체 어플리케이션에 이용되는 저 비용의 효과적인 무접점 솔루션으로 OFT 제품군의 유연성을 확장합니다. 컴팩트한 설계로 OR400T는 다수의 공정 어플리케이션의 독특한 요건을 모두 쉽게 충족시킬 수 있습니다.
 


혜택 특징
  • 온도 측정의 정확성 향상
  • 웨이퍼 간 균일성 강화
  • 열전지 기반 측정 방식에 대한 비용 효과적인 대안 제공
  • 생산성, 수율, 처리량 증가
  • 컴팩트한 단일 채널 설계
  • 제자리, 무접점 온도 측정
  • 초당 최고 20개의 온도 측정에서 RS-232, 아날로그 데이터 인터페이스 지원
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  • 저온측정 성능 강화

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추가 정보

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