소스 기술

Advanced Energy의 유도적으로 결합된 플라즈마 소스, 대기 소스 기술은 고급 공정에 고도의 간소화된 디자인을 제공합니다. 그 결과 원활한 통합, 탁월한 신뢰성, 제조와 감축 공정을 한 단계 발전시킬 수 있는 차원 높은 기능을 제공합니다.

리모트 플라즈마 소스(RPS)
활성화된 화합물의 원격 전달을 위해 고밀도 플라즈마를 생성하는 통합된 전원 공급장치/플라즈마 소스

MF 플라즈마 소스

배출구 PFC 감축


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