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The Apex platform delivers superb performance in plasma-based thin film processes for semiconductor, flat panel display, or data storage manufacturing.
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Apex® RF 전원-전달 시스템

다용도 Apex® RF 발생기 및 전원 전달 시스템 제품군은 향상된 제품과 공정 신뢰성을 제공하는 고도의 RF-변환 기술을 활용하고 챔버 설치에 적합한 모듈 설계로 제공됩니다. Apex 플랫폼은 반도체, 평판 디스플레이 또는 데이터 스토리지 생산용 플라즈마 기반 박막 공정에서 탁월한 성능을 제공합니다.

혜택 특징
  • 높은 전력 밀도
  • 향상된 공정 유연성
  • 향상된 수율
  • 저렴한 CoO
  • 단순화된 공정 툴 통합
  • 유연한 통신
  • 합리화된 설계
  • 온-보드 챔버 마운트, 온-툴 프레임 마운트, 랙 마운트, 상자형 옵션
  • 광대역 제어 루프, 옵션의 고반복도 펄스
  • 업계 선두 아크 관리
  • 규제 준수


관련자료 다운받기

Apex® RF Generators and Power Delivery Systems brochure    

Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Advanced Energy RF Calibration Process (2002) white paper
The Evolution of RF Power Delivery in Plasma Processing (2001) white paper
Forward and Reflected Powers. What Do They Mean? (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Arcing Problems Encountered During Sputter Deposition of Aluminum (2000) white paper
Stabilizing RF Generator and Plasma Interactions, April 2004 magazine reprint
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
March 26, 2008 - Advances in Radio Frequency Plasma Power Delivery Systems presentation
RF Power Fundamentals Course data sheet
AE Global Services brochure

추가 정보

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