RF
HPG High-Power RF Solution
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HPG 고출력 RF 전달 시스템

HPG 고출력 RF 전원공급장치는 동적 성능에 최적화되어 있는 동시에 고급 기능을 통해 높은 수준의 전력 제어, 측정 및 진단 기능을 제공합니다. 다중 주파수 챔버 설계에 적합한 HPG 시스템의 견고한 전력 토폴로지는 FPD(flat panel display)와 솔라 패널 시장에서 까다로운 ETCH 및 CVD 응용에 적합하도록 제작되었습니다. 아크 관리 기능은 수율과 챔버 손상을 개선합니다. 혁신적인 디자인은 설치 및 작동을 용이하게 하며, 교육 비용과 운영시간을 줄입니다. 전력을 광범위한 출력 임피던스로 조절하도록 제작된 HPG 플랫폼에는 전방향, 부하 및 외부 전력 조절 모드가 있습니다.

혜택 특징
  • 높은 처리 반복성, 균일성 및 생산성
  • 고급 작동 및 제어 기능
  • 유연한 통신
  • 총소유비용(CoO) 감소
  • 모듈식 설계
  • 기판 및 챔버 아크 손상 방지
  • 반사 전력 오차율
  • 전면 패널 디스플레이
  • 다중 인터페이스 구성
  • 혁신적인 예방 유지보수 및 진단 기능
  • 전방향, 부하 및 외부 전력 조절 모드
  • Navigator T250 또는 T400 디지털 매칭 네트워크와 신속하고, 정확하고, 안정적으로 매칭

관련자료 다운받기

Navigator Digital Matching Network brochure 


추가 정보

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