• 크레이징 코드 분석: 1부
• 프로세스 진단 및 보수
• 크레이징의 일반적 원인
• 결론

덕 펠레이마운터(Doug Pelleymounter), AE 선임 필드 어플리케이션 엔지니어는 33년 동안 모든 유형의 도전적인 스퍼터링 어플리케이션 작업을 수행한 경험을 보유하고 있습니다. 이곳에서 덕은 까다로운 어플리케이션 질문에 답변해 드릴 것입니다. sputtering@aei.com으로 질문이나 의견을 보내주십시오.

1. 저는 Pinnacle® Plus+ 5 kW (325 ~ 650 VDC)와 관련하여 질문이 하나 있습니다. 현재 몰리 필름의 스퍼터링을 위해 마그네트론이 있는 3"의 작은 몰리브덴 타켓(DC DC 모드)과 함께 이것을 사용하고 있습니다. 하지만, 우리의 현 프로세스는 300W(약 400VDC, 0.75A)에서만 운전합니다. 이것은 지정된 반복성(정격 전력의 10~100%까지의 0.1%)보다 매우 낮은 것입니다. 전체적인 프로세스 안정성이 염려가 됩니다. 300W에서만 운전하는 5kW 전원 공급기의 출력 정확도와 반복성에 대한 정보를 가지고 있습니까? 500W DC 모델을 쓰는 것이 더 좋은가요?
2. AC 공급기와 듀얼 마그테트론 시스템 (DMS)을 사용할때 마그네트론 사이의 거리는 얼마나 떨어져 있어야 하나요?
3. DC 공급기와 하나의 마그네트론과 비교하여, 듀얼 마그네트론 시스템과 AC 공급기로부터 어떤 비율을 기대할 수 있습니까?

• 접지: 올바른 접지를 위한 실용적인 방안
• 일반 원칙
• 시스템 접지
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스퍼터링 공정이 여러분을 짜증나게 만듭니까?

덕 펠레이마운터(Doug Pelleymounter), AE 선임 필드 어플리케이션 엔지니어는 33년 동안 모든 유형의 도전적인 스퍼터링 어플리케이션 작업을 수행한 경험을 보유하고 있습니다. 이곳에서 덕은 까다로운 어플리케이션 질문에 답변해 드릴 것입니다. sputtering@aei.com으로 질문이나 의견을 보내주십시오.

1. 공 정을 셋업하는 과정에서 RF 전원 공급장치에 관한 질문이 있습니다. 전압 또는 전원 모드에서 공정을 실행하는 경우의 장점과 단점은 무엇입니까? 고정 전원 모드에서 공정을 실행하는 경우, 고정 전압 모드에서 공정을 실행하는 경우와 동일한 피막 속성을 얻을 수 있습니까?
2. 당사는 단일 마그네트론 음극을 사용하는 광 어플리케이션을 위해 TiO2 피막을 연구하고 있습니다. 타깃은 펄스-DC 전원 공급장치를 사용하는 TiO2입니다. 기판은 최대 섭씨 350도까지 가열할 것이며 공정 가스로 산소와 아르곤(Ar)을 이용하고자 합니다. 양호하고 조밀한 피막과 높은 증착율을 얻는데 펄스-DC 전원 공급장치와 최고 공정 매개변수를 추천하십니까? TiO2에 가능한 최대 증착율은 얼마입니까? SiO2에 가능한 최대 증착율 정보도 주십시오.
3. 이중 마그네트론 시스템에서 DC를 사용할 수 있는 챔버 내 공간이 충분하지 않습니다. 다른 바람직한 대안이 있습니까?
4. RF 혼입 DC 셋업이 복잡하다고 들었습니다. 피해야 할 주요 위험은 무엇입니까?

• 전원 공급 장치 품질 평가
• 새벽에 호출되는 번거로움 없앰: 가장 흔한 프로세스 문제 해결
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스퍼터링 공정이 여러분을 짜증나게 만듭니까?

덕 펠레이마운터(Doug Pelleymounter), AE 선임 필드 어플리케이션 엔지니어는 32년 또는 개의 년수로 224년 동안 모든 유형의 도전적인 스퍼터링 어플리케이션 작업을 수행한 경험을 보유하고 있습니다. 여기서 덕은 까다로운 어플리케이션 질문에 답변해 드릴 것입니다. sputtering@aei.com 으로 질문이나 의견을 제출해 주십시오.

1. 평면 타겟과 회전식 타겟을 사용할 때의 차이점은 무엇입니까?
2. 평면 타겟과 회전식 타겟의 서로 다른 부식 패턴이 타겟의 수명 동안 프로세스에 어떤 영향을 미칩니까?
3. 일반적으로 펄스 DC 및 AC 전원은 일반 DC보다 더 나은 박막을 생성한다고 했는데 실제로 박막 품질에는 어떤 차이가 있습니까?
4. 답변: 스퍼터링 속도를 어떻게 최적화할 수 있습니까?
5.  HPPMS라는 차세대 기술이 완전 평면 균일 박막을 생산하고 있지만 이 기술은 아직 보편화되지 않고 있다고 들었는데 현재 이용 가능한 장비로 유사한 결과를 낳는 대안이 있습니까?

• 올바른 전원 공급장치를 선택하는 방법
• 공정 셋업 세부 지침
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덕 펠레이마운터(Doug Pelleymounter), AE 선임 필드 어플리케이션 엔지니어는 32년 또는 개의 년수로 224년 동안 모든 유형의 도전적인 스퍼터링 어플리케이션 작업을 수행한 경험을 보유하고 있습니다. 여기서 덕은 까다로운 어플리케이션 질문에 답변해 드릴 것입니다. sputtering@aei.com 으로 질문이나 의견을 제출해 주십시오.

1. 특정 타깃 재료를 가지고 있습니다. RF 전원 공급장치, AC 또는 DC 공급장치 중 어떤 공급장치를 사용할 지 어떻게 결정할 수 있습니까?
2. 그렇다면 AC와 DC 전원 간을 어떻게 선택합니까?
3. 일반 DC 또는 펄스 DC 중 어떤 것이 공정에 적합한지 어떻게 결정합니까?
4. 어떤 스퍼터링 속도를 달성할 수 있습니까?
5. 스퍼터링 장비 메뉴 시스템에서 어떤 아크 설정점으로 맞추어야 합니까?
6. 스퍼터링 속도는 안정적이었습니다. 오늘 왜 갑자기 바뀐 것입니까?